平面微型弹簧电铸工艺研究(3)
效果,漂洗采用异丙醇(IPA),显影和漂洗时间为20min。 (9)去胶:用剥离液去除 SU-8胶。
(10)去牺牲层: 去掉牺牲层,获得想要的微电铸产品。
此方法缺点是，去掉牺牲层的腐蚀液可能会对微弹簧的性能产生一定的影响。
具体工艺如图1.4。
MEMS微弹簧是平面微弹簧的一种，其特点是在厚度和宽度方向上有着较小的尺寸 (小
于 1 mm)。目前比较成熟的微弹簧加工方法主要有DRIE（Deep Reactive Ion Etching） 工
艺、LIGA（Lithographie Galvanoformung Abformung） 或准LIGA（相对于LIGA 技术，准
LIGA 技术采用的是常规的紫外光光刻设备和掩模，设备要求较低） 技术等。几种典型的微弹簧结构形式如图1.2 所示 。
1.1.1 弹簧在引信中的应用
在微机电系统中，平面微型弹簧是一种常用的弹性元件，在 MEMS引信安全系统中发挥着
重要的作用，因其可以实现能量和力的传递。这些弹簧用传统加工方法制备而成。
离心微弹簧和后坐微弹簧是安全系统中两个至关重要的部件。后坐微弹簧的作用是，要
保证意外发生时系统的安全性，又要保证在惯性力的作用下，可以达到准确的位置，保证系
统的正常工作。而离心微弹簧的作用是，保证离心滑块在离心力的作用下，可以运动到合适
位置被锁销固定。由此可见,在微机电系统中，微弹簧担任的重要作用，既要保证引信系统平
时的安全性，又要保证发射时的可靠性[4]。
平面弹簧在榴弹引信中应用广泛。在小口径榴弹中，其引信的 MEMS保险结构是一个很好
的例子，如图 1.3所示。 可见，微型弹簧在此后坐保险机构中的重大作用为防止意外的发生。如果微弹簧的性能
不能达到相应的要求，将会造成严重后果。
1.1.2 平面螺旋弹簧在机械手表中的应用
螺旋弹簧是在各种弹簧中研究最透彻、使用最广泛的一种。垂直式螺旋弹簧的理学理论
相对来说比较成熟，螺旋弹簧变形和作用力方向一致，多应用于悬架或阀门之上。
同时，有着全新设计的弹簧也在不断生产，比如：共振弹簧、形状记忆合金弹簧以及非
圆柱形螺旋弹簧等等。平面螺旋弹簧是一种研究较少的弹簧，所以在应用方面也相对欠缺。
平面微弹簧一般是用细长的金属材料绕成的。
游丝和发条是平面螺旋弹簧在机械手表中主要有两个应用。游丝一般用来控制振荡频率，