类金刚石薄膜的真空制备技术及其性能研究(6)

(3)镀膜装备方面。大部分镀膜装备生产厂家侧重于镀膜机的生产，对使用环境和涂层技术没有深入了解，也未加强与涂层使用企业的合作，缺乏相关工艺配套研究，无法进行批量化生产；相关研究院所缺乏成熟的配套镀膜设备的开发和制造技术，使得国内生产的沉积设备在工艺成熟、稳定性和可靠性等方面与国际设备还有非常大的差距。
(4)应用领域拓宽方面。过去几年中，DLC薄膜的应用均集中在较轻负荷工况，重负荷工况下的应用极为罕见。在生物、国防军工、耐腐蚀保护、场发射以及半导体等多个领域的应用还有待大力开发。