乙酰丙酮 分析纯

氢氟酸 40%

氟化铵 ≥96%

石英片

无水乙醇 分析纯 上海展云化工有限公司

乙缩醛二乙醇

TiO2（P25） >99.5% 德国Evonik Degussa公司

主要仪器见表2.

表2 主要实验仪器

仪器名称 仪器型号 生产厂家

光刻机 JKG-2A型 上海光学机械厂

真空干燥箱 DFZ-6020型 上海精密实验设备有限公司

电子天平 AB204-N METTLER TOLEDO

台式离心机 TGL-16G 上海安亭科学仪器厂

超声波清洗器 KQ218 昆山市超声波仪器有限公司

数显恒温水浴锅 HH-2 金坛市江南仪器厂

注射泵 TS2-60 保定兰格恒流泵有限公司

恒流泵

气相色谱仪 SP-6800A 山东鲁南瑞虹化工仪器有限公司

微量取样器 上海求精生化试剂仪器有限公司`吹冰*文+论]文|网\www.chuibin.com

光催化反应器 自制

2.2光催化反应器制备

2.2.1光催化微反应器制备

制备微反应器玻璃芯片过程，参考刘东元硕士论文[19]报道的方法。过程一般需要经过光刻、显影、定影、清洗、吹干、110℃烘箱干燥、去铬、胶布保护、刻蚀、清洗、打孔、洗光胶、完全去铬。接着用煮沸的40%氢氧化钠去浸泡石英玻璃片，至少10min，洗净后采用热键合对加工好的芯片进行封接。最终得到通道尺寸为宽440um，深70um