倾斜波面干涉仪的不同点源系统误差标定方法研究 (2)
区别于球面或非球面镜，光学自由曲面不能通过常规的系数方程组来表征出其元件特性 。它不仅没有传统光学曲面的对称轴，而且它的曲率变化较大，面形的自由度更高，能够有效减少光程差，使得他能够很好在航空航天、天文、电子、激光、光通信领域有广阔的应用前景，在民品上亦充分应用在CD、VCD、DVD、数码设备等，在医疗和军事上也占据着极为重要的位置。
光学自由曲面的存在，使得在进行光学系统的设计和制作中，有效的增加了光学设计的自由度，使光学元件的使用数量大大减少，能更好的满足光学元器件的体积重量和光学质量，有利于矫正相差，提高成像质量，是当下光学设计与生产制造中不可或缺的关键组成。
但是，在对光学自由曲面的面形进行测量的时候，却会受困于其面形精度和表面形状的高要求。无论是哪一种加工方法，在自由曲面光学元件加工中都不可避免地会在已加工表面产生面形误差和表面粗糙度的影响。这些面形误差和表面粗糙度的存在,导致光学系统的光学性能降低。因此，研究面形误差和表面粗糙度对光学性能的影响就显得很重要。同时，光学自由曲面的生产水平却一直受到检测水平的制约，使得高精密度的自由曲面的检测技术变得急需提高，对测量结果的误差标定也显得更为关键。
干涉系统的系统误差来源于系统的装校和元件的生产误差。通过比较仿真得到的干涉图和实际测量过程中得到的结果，可以得到非零位干涉系统中不同点源的系统误差，提高自由曲面面形的测量精度。因此，对倾斜波面非零位干涉系统的系统误差进行标定是很有必要的。
1.2国内外研究现状
1.3论文主要研究内容
（1）掌握基于点源阵列的倾斜波面干涉技术原理；
（2）掌握“黑匣子”误差分析理论；
（3）根据不同空间点源的特征，利用标准球面将每个点源的系统误差进行标定；
2 倾斜波面非零位干涉系统
2.1 干涉系统的结构
倾斜波面非零位干涉系统是目前测量光学自由曲面面形最为精确的方法