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提高GaAs光电阴极稳定性的铯氧激活工艺研究(5)

2。1  超高真空激活系统

超高真空激活系统主要由真空抽气系统、进样装置、激活室、样品传递结构、样品加热 装置以及样品激活装置组成[15],

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