图3。1模拟平面(TF、RF、TEST)及干涉波面

将模拟得到的三组干涉波面、和输入根据矩阵算法原理编写的绝对检测算法中,通过计算机程序得出RF计算结果。将关于RF的计算结果和其模拟理想平面相比较,可以看出RF的计算结果存在一个较大的旋转误差,如图3。2所示。

根据公式(11)编写程序可进一步计算得到TEST的计算结果,通过比较TEST计算平面和模拟理想平面,可以得到在斜入射绝对检测下,以矩阵算法作为绝对检测算法的准确误差,如图3。3所示。同时计算得到关于TEST计算平面和模拟平面误差的RMS为nm。

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