溅射软磁金属薄膜的微波阻尼调控(3)
交换偏置效应可以作为一种有效的调控手段去改变软磁薄膜体系的面内有效各向异性和铁磁共振频率，这得到了磁性材料学界的一直关注。对于某些面内单向磁各向异性软磁金属薄膜，它们的铁磁共振频率可以达到GHz以上，这使得它们在噪声干扰抑制器、陷波滤波器、薄膜电感等微波集成器件中具有广阔的应用前景。于是国内外研究课题组便发展了多种调控手段去提高磁有效各向异性场，如发展倾斜溅射增强磁晶各向异性，发展出梯度共溅射制备方法来提高共振频率等[16]。
1.3软磁金属薄膜的重要参数和理论
矫顽力：矫顽力是软磁薄膜乃至整个磁性材料领域具有举足轻重地位的静态性能参数之一，矫顽力的大小同时也是划分软磁材料和硬磁材料的唯一标准，一般可以认为矫顽力Hc小于50 Oe材料为软磁材料。矫顽力在磁性薄膜体系中对其具有影响的因素有多，薄膜生长时产生的点阵畸变、内应力、晶粒的尺寸、弥散度和位向分布还有各向异性都会对软磁薄膜的矫顽力产生影响。
对于矫顽力，其随着晶粒尺寸的大小会发生变化即矫顽力尺寸效应，目前Herzer随机各向异性模型能够最好地解释此效应[17-20]，如下图1-1所示，在这个模型中，整个材料的尺度为Lex，假设每个晶粒相同且尺寸均为D，材料中的晶粒取向呈随机分布方式，晶粒的磁晶各向异性也呈现随机分布态势。