压电厚膜微型芯片的研究+文献综述(3)
4、介电常数
相对介电常数是指介质通过产生感应电荷来削弱外加电场时，介质产生电场与外加电场（真空中）的比值。而介电常数则是真空中绝对介电常数与相对介电常数的乘积，用来反映压电材料的介电性质。
用ε来表示介电常数ε=εr×ε0，其中ε0为真空绝对介电常数，ε0=8.85×10-12F/m。压电材料的ε值受测试的频率影响[6]。
5、介质损耗
介质损耗是指绝缘材料由于在电场的作用下由于介质极化和介质电导的滞后效应在其材料内部引起的产生了能量损耗。在交变电场作用下，电介质由于电导过程和电极弛豫过程引起介质损耗。对于压电材料来说，因其常温下的电导损耗较小，主要是由极化弛豫引起介质损耗，除此还与畴壁的运动相关[7]。
6、频率常数
频率常数是指压电体的谐振频率与支配该频率的主振动方向的几何尺寸的乘积，只与压电材料的震动模式和性质有关，而与材料的形状、尺寸无关[8]。
1.1.3 压电厚膜的应用
随着科技的不断发展进步，压电陶瓷因具有优异的压电性能和多样的机电性能在社会生产生活中得到了广泛应用，我们希望未来几年压电陶瓷厚膜也能逐渐在电子技术、军事、航空航天和日常生活等方面得到广泛应用，并以其优异的性能为社会的快速发展做出贡献[9]。
1、压电厚膜在声表面波器件方面的应用
声表面波器件有滤波器、共振器、谐振器等。其基本原理是压电陶瓷厚膜在外加交变电压作用下，会产生一定频率的机械振动，因此要求材料的压电和介电性能较高。其在电子通信、医疗、运输等行业很常见，如手机摄像头、倒车雷达等。
2、压电厚膜在换能器方面的应用
压电换能器是要将某种形式的能量通过压电材料转换成另一种，因此要求机械品质因数和机电耦合系数要高。其在超声领域有很大应用，用于超声清洗、深海探测及用于军事、国防的水声换能器等。
3、压电厚膜在其他方面的应用
随着科技的发展，对压电陶瓷厚膜的研究也不断深入，其应用领域也在不断扩大，通过与其他技术的结合开拓新的应用领域，如与透明陶瓷的光电效应结合制备出了光学用调光元器件等。在国外也已有学者通过与纳米技术融合研制出了一种纳米压电材料，用于手机等耗能较小的电子产品中，通过震动来产生电能代替电池。
1.2 锆钛酸铅系陶瓷
PZT是一种二元系固溶体，它是由PbTiO3铁电体和斜方晶系的反铁电体PbZrO3固溶而成，其晶体呈ABO3钙钛矿结构，如图1.1所示。Pb2+位于ABO3结构的A位，Zr4+、Ti4+位于B位（氧八面体的中心），Pb2+和O2-形成立方最密堆积，由于Zr4+和 Ti4+的离子半径相近、化学性质形似，因此PbTiO3和 PbZrO3可以以任意比例混合形成连续固溶体[10]。
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