W=I2R
由公式可以看出其电流不宜过大，否则产生的热量足以破坏仪器本身，且不能长时间蒸镀，内置线路会长期高温而变得损坏，根据经验电流控制在160A以下。
主要分为三大系统部分组成
首先是真空系统，包括机械泵、电磁阀、分子泵、真空室、水冷机。
其次是电气系统，包括了气压测量系统，成膜厚度测量系统以及基片旋转、照明系统
最终是电阻加热系统。
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