石墨烯光电探测器的制备研究(2)
1.2 紫外-红外双色探测器
1.2.1 紫外-红外双色探测器的结构（1） 双波段系统自1972年用体材料制备、 用胶粘接的叠层式光导器件HgCdTe双色探测器成功制备出来,到如今采用分子束外延技术在蓝宝石衬底上生长的AlGaN/GaN 异质结单片集成紫外/红外双色探测器[10]，双色探测器已经得到巨大的发展，现在大致有三种方法能够实现双波段系统：a.把使用不同光学系统的两个不同波段单色探测系统集成到一起；b.把共同使用一个光学系统的两个不同波段的单色探测系统集成到一起；c.通过同一光学系统并且同时对不同光谱波段进行响应的双色探测系统。前两种方法由于光学结构系统和探测器结构复杂，且灵敏度响应度较低，其应用非常有限。为了克服上述两种方法的缺点，人们提出了第三种方法，即共同使用一个光学系统并且同时响应两个不同波段的双色探测系统，把探测器做成叠层的形式，例如，AlGaN/Graphene双色探测器中采用高Al组分AlGaN和单层石墨烯材料进行纵向集合日盲紫外-近红外探测器[5]，石墨烯红外系统集成到紫外系统上面，同时上层红外系统不吸收下层紫外系统所敏感波段，这种探测器也减少了多光谱感测系统的复杂性。（2） 双色探测器的结构双侧探测器的结构主要由采用上述哪种类型双波段系统而决定，其结构主要有以下三种形式：a.平行式。响应不同波段的探测系统并排排列；b.嵌套式。响应不同波段的探测系统嵌套排列；c.垂直式。响应不同波段的探测系统采用垂直式结构。三种器件的排列方式相比，以第三种最为优越。以上文中采用垂直式的 AlGaN/Graphene双色探测器为例[5]，既降低了背景对长波探测器性能的影响，又有利于系统的光学设计，简化了器件制作的难度。
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