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热电传感元素英文文献和中文翻译(7)
图8.17(a)显示了使用离子注入技术将P型掺杂材料引入N型硅胶膜的压阻式压力传感器。 因此产生四个压阻应变元件(两个拉伸,两个压缩),连接到偏转桥电路中。
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