直流磁分离电弧蒸发法制备金属氮化物超硬膜(4)
（2） 耐腐蚀性能
除了具有良好的耐磨性能，TiN薄膜还具有较好的耐腐蚀性能。除硝酸外，TiN薄膜不溶于其他任何稀酸，具有良好的耐酸性。在相同的外部环境下，TiN薄膜耐腐蚀性能的优劣主要由薄膜自身的品质所决定。研究表明：膜层的表面形貌越平整，薄膜的耐腐蚀性能就越优异。膜层较厚的TiN比膜层较薄的耐腐蚀性好[9]。因此，在实际生产中适当增加薄膜厚度可以有效提高TiN薄膜的耐蚀性能。
（3） 光学性能
TiN薄膜的特殊结构决定了其具有特殊的光学性能[10]。研究表明，在沉积薄膜的过程中，N2流量能较大限度的影响薄膜的结构，当N2流量较小时薄膜中主要是颜色较浅的Ti2N，当N2流量较大时薄膜中生成颜色较深的TiN [11]。