微流控芯片结构设计及其性能表征
（1）设计芯片的结构，包括常规、含小弯曲通道和含挡板通道三种类型。主要目的是找出能够实现顺利进样并具有较好混合效果的微流控芯片结构。
（2）研究了玻璃微流控芯片的制作技术，包括材料的选择、微结构的设计、标准光刻、化学湿法刻蚀以及芯片的键合。
（3）使用自制的玻璃微流控芯片，通过实验探索进样条件，研究了流体在微通道中流动效果和混合效果，以及流体在通道时能否形成气拴隔断式的微反应室即气体将流体隔开，形成一段气体一段液体，将反应分成许多微小的反应室，用于实现纳米颗粒的合成。7959
关键词：玻璃微流控芯片，设计制作，微流动，性能表征
毕业设计说明书（论文）外文摘要
Title Design, preparation and fluid properties of glass-based microfluidic chips
Abstract
In the thesis, the conception, advantage and limitation of the microfluidic chips were introduced, and internal and overseas research works were summarized. The main works and achievements of this paper are presented as follows.
(1) This paper designed three type microfluidic chips with periodic geometric features in order to enhance the diffusion and mixing performance.
(2) The fabrication of the glass-based microfluidic chips were introduced in detail, which included the selection of materials, design of the microstructure, lithography, wet chemical etching and high temperature bonding.
(3) The self-made microfluidic chips were used to investigate injection conditions, effects and mixed effects of fluid flowing in a micro-channel and the possibility of the formation of gas partition in the microreaction chamber.
Keywords: glass-based microfluidic chip, design and preparation, microfluid, characteristics
目录
1 绪论 1
1.1. 微流控芯片技术 1
1.2 微流控分析芯片的研究发展现状 2
1.2.1 制作加工工艺发展现状 2
1.2.2 微流体流控特性研究现状 3
1.3 本文的研究目的和内容 4
1.3.1 研究目的 4
1.3.2 研究内容 4
2 微流控芯片的制作 4
2.1 材料的选择 5
2.2 微结构的设计 6
2.3 玻璃微流控芯片制作工艺 7
2.3.1 掩模制备 7
2.3.2 曝光、显影及去铬层 8
2.3.3 化学湿法刻蚀 8
2.3.4 打孔 9
2.3.5 键合 10
2.3.6 制作成品 11
3.流体混合实验过程 12
3.1实验材料与装置 12
3.2进样条件分析 12
4.4 实验步骤与现象分析 13
4.4.1实验前期准备 13
4.4.2水和甲基蓝混合实验 15
4.4.3 气栓隔断式微反应室形成实验 16
4.4.4 点胶机替换压缩泵实验 18
4.5实验注意事项 18
5.实验现象总结 19
结论 21
致 谢 22
参考文献 23
1 绪论