2.2 方案的比较和确认
方案一：采用外差光路干涉，图像采集使用CMOS，驱动控制系统和处理系统采用PC控制，使用伺服电机通过球铰链来使工作台小角度转动，工作台XY使用伺服电机来控制。
方案二：采用共光路干涉，图像采集使用CCD，驱动控制系统和处理系统采用工控机，使用伺服电机来控制测头的上下移动，工作台XY使用步进电机来控制。通过3根升降柱长短变化来调整工作台的小角度转动。
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