分辨率。分辨率是表明光谱仪器分开波长极为接近的二条谱线的能力，这是光谱仪器极为重要的性能指标。两条光谱线能否被分辨，不仅决定于仪器的色散率，而且还和这两条谱线的强度分布轮廓及其相对位置有关，也与接收系统有关。光谱线的强度分布是一个复杂的函数，它与谱线的真实轮廓、仪器的色散系统、所用狭缝的宽度、入射狭缝的照明情况及光学系统的像差等因素有密切的关系。

    光度特性。光度特性是表示光谱仪器传递光能量的本领，即表明辐射光源的光谱亮度和光谱仪器直接测得的光度数值之间的关系。

    工作效率。光谱仪器的工作效率是它记录光谱的精度和速度的综合指标。这里所指的精度包括记录光谱波长的精度和光谱强度的精度，它和仪器的光强度、色散率、分辨率等因素有关。