光学元件的激光承载能力测试研究(3)
图3 动态干涉仪的原理图
光源发出的激光经过PBS后，分成偏振态不同的两束光,。其中S代表了偏振光射向样品表面, P代表偏振光射向参考镜。样品光和参考光被各自的表面反射，然后重新相会后, 因为偏振方向的不同，并不能发生干涉。这样合并在一起的光可以经过光学系统成像, 然后透过一块掩模板（见下图4）进入CCD。
图4 光透过掩模板
掩模板（定向微偏振片阵列）的单元结构与CCD的像元一一对应相关。上述合在一起的不同偏振态的光，透过掩模板的每个单元后，会发生干涉, 且在不同像元位置发生干涉的相位是不同的。这样, 任意一组相邻的4个像元，都发生了具有固定相位差的干涉。然后对每一组像元进行相移干涉计算, 就可以得到整个样品表面的形貌数据。因为像元的位相是周期变化的，所以在计算时可以重复利用相邻像元，进而实现全分辨的测量。
2.2.2 动态干涉仪的快速测量
在本次实验中，动态干涉仪的快速测量用的仪器有动态干涉仪、陷光器、光纤激光器等。下图5是测量时的实物图