偏振式点衍射干涉仪研究+文献综述(6)
图1.10 同步移相的偏振点衍射干涉仪原理图
2006年，R. M. Neal和James C. Wyant等经过深入研究，在之前基础上研制出了（PPSPDI）[18]，该干涉仪基于电光调制，通过双折射点衍射板和偏振片实现了移相。结构图如图1.11所示。激光通过偏振半波片的系统，保证能得到任意角度的线偏振光。此系统之后是一个电极垂直导向（0°）的光电调制器（EOM），它作为干涉仪的移相器。EOM接通外加电压后，其内部晶体的折射率椭球开始旋转，对在垂直于电极平面上的晶体折光率产生变化，因此在给晶体加了合适的电压之后，产生一组P光和S光，且P光在晶体中会有较大的光程并附加一个随调制器电场改变而变化的额外相位，使输出为椭圆偏振态。调制器之后是一个小孔5µm的空间滤波器，起电光源的作用，并放置在验光透镜前两倍焦距处来模拟一个放大率为-1的4-f成像系统。该系统中的点衍射板是在双折射薄膜半波硅片上蚀刻出小孔，入射到小孔的波前衍射成椭圆偏振态的球面参考波前；透射过薄膜半波片的波前保留了入射波前的像差作为参考波前。两波阵面通过验光透镜平面，将发生干涉后的干涉图样投影在CCD上。通过改变加在电光调制器上的电压值，就能改变测试和参考波阵面之间的相位差，从而引起相移。
图1.11基于光电调制的偏振式点衍射干涉仪结构图
1.4 主要内容
本文重点调研了光学波前测试技术和点衍射干涉仪的原理及发展现状；设计了偏振式点衍射干涉仪测试波前的方案；偏振式点衍射干涉仪的关键技术分析；搭建实验装置，收集并处理干涉图样，对实验结果进行分析。
第1章：绪论
首先阐述了本项目的研究背景，然后介绍了光学波前测试技术的原理和发展现状，调研了点衍射干涉仪的发展现状并分队对四种主要点衍射干涉仪的优劣势做了分析。
第2章：偏振式点衍射干涉仪测试波前的方案设计
本章根据偏振式点衍射干涉仪中不同结构所运用的不同技术原理，构建了用其测试波前的数学模型。分别研究了偏振式点衍射板的基本工作原理；基于光波的标量衍射理论，对点衍射干涉技术进行了理论分析；最后对本项目中加入的光偏振移相干涉技术做了推导和分析。
第3章：偏振式点衍射干涉仪的关键技术分析
本章中给出了偏振点衍射板的设计图纸和参数要求。并通过扫描电子显微镜对本实验中用到的偏振点衍射板进行了测量，并对该板各项参数和质量做了分析。然后对点衍射板采用等效光源位置分析得方式，分析了偏振点衍射干涉光束中轴向离焦对干涉条纹数的影响。
第4章：实验与分析
本章中首先简介了瞬间波前测试方案的整体实验装置。而后基于前几章节对偏振式点衍射干涉仪测试波前方案，给出了偏振点衍射干涉仪时间移相实验的光路图，按照该实验方案搭建了实验装置，根据实际情况对实验中部分装置做出了调整。经过实验测试得到了干涉图样，对得到的实验结果做出了分析。
结论
总结全文，对研究课题做出总结，并提出工作中尚存和待解决的问题，最后对本项目进行展望。