摘要：氧化镉(CdO)薄膜是第一种透明导电氧化物半导体。其优异的光学和电子性能使CdO成为平板显示器的理想材料。在本篇论文中，我会全面回顾一些与CdO薄膜的制备-性能-应用'相关的最先进的研究活动。然后根据前人所做的大量的实验以及总结的一些实验方法的基础上，介绍一种氧化镉镁合金透明导电薄膜的制备方法及性能优化

关键词:薄膜，CdO，汽相，液相，带隙，纳米，氧化镉镁合金

Abstract：Cadmium Oxide (CdO) thin film is one of the first transparent conducting oxide semiconductors. Its excellent optical and electronic properties have made CdO a promising material for flat panel displays. In this article, we provide a comprehensive review of the state-of-the-art research activities related to the ‘preparation-property-application’ triangle of CdO thin films. Then based on a large number of experiments done by previous researchers and some experimental methods summarized, a transparent conductive film of cadmium-magnesium oxide alloy was introduced, and its preparation method and performance optimization were introduced.

Keywords: Thin film,CdO,Vapour,phase ,Liquid,phase,Band,gap，Cadmium Oxide Magnesium Alloy

目录

1引言 5

2CdO薄膜的制备技术 5

2.1汽相技术 6

2.2液相技术 7

2.3性能优化 8

3纳米薄膜 10

4氧化镉镁合金透明导电薄膜制备及性能优化 11

4.1制备过程 11

4.2性能优化 12

结论 16

参考文献 17

1引言

近年来，氧化镉薄膜由于在电化学电容器、太阳能电池、光电子器件和化学传感器方面的潜在应用而备受关注。虽然镉和它的化合物具有很高的毒性，但是它是电池生产，着[1]色颜料，钢材腐蚀防护以及控制核裂变中的中子的障碍的关键组成部分 。历史上，CdO是1907年Badeker报告的第一个透明传导氧化物的例子之一。CdO结晶为NaCl结构，不经历任何相变，可以达到83GPa的最高压力。图1是CdO不同时间的二元、三元和纳米粒子材料的数量图。这些数据来自“科学网络”数据库。论文总数约411篇，其中近10年发表论文266篇。在这个时间段中有三个不同的时期。第一阶段是上世纪90年代末，没有发现重大活动。第二阶段的研究是2005年，出版物的数量增加的速度比第一阶段快。2005年以后，增长率翻了一倍多。

图1：与CdO材料的二元、三元和纳米颗粒相关的制品的数量图

2CdO薄膜的制备技术

以薄膜形式制造的装置或部件具有优于由散装材料制成的装置或部件的优点，因为其性能优越，极其紧凑并相应减小尺寸和重量。各种各样的薄膜材料，如金属、半导体、绝缘体或电介质，都是由已开发的各种制备技术制备的。还开发了新的方法来提高沉积材料的质量和性能的再现性。任何薄膜制备技术都涉及到(a)生产适当的原子/分子种类,(b)物种的运输,(c)物种在基体上的凝结。薄膜制备技术可分为气相法和液相法。图2是自1975年以来各种技术制备的CdO薄膜图。该数据表明，喷雾热解是一种液相技术,而且由于其简单的掺杂工艺、成本效益和大面积沉积的可能性，被广泛应用。在下一节中,简要介绍了各种技术对CdO薄膜的制备情况，并对其性能进行了描述。