1。2 国内外三维形貌测量的研究进展来`自+优-尔^论:文,网www.chuibin.com +QQ752018766-

1。3  本课题的主要研究内容及所做的工作

本次实验中所选择的光栅为四台阶光栅，其中所涉及到的参数主要有：光栅周期、光栅 的各个台阶面的高度等。光栅周期对光栅的透射谱有一定的影响，在获得微光栅的光栅周期 以及各个台阶面的高度之后，可以更好的了解微光栅的三维形貌以及空间结构。而出于实验 硬件设备的限制以及本次毕设要求的需要，在此次毕设中，仅仅对该微光栅的光栅周期进行 了测量。

本次毕设采用白光扫描干涉技术对微光栅样品进行扫描，得到了 128 幅白光扫描干涉图， 在数据的处理的方面采用了空间频域算法对数据进行分析，以达到还原微光栅的主要三维形 貌并获取其主要几何参量的研究目的。