2.2.1  射频磁控溅射原理[39]
磁控溅射是在二级溅射的阴极靶面上建立一个环形的封闭磁场，它具有平行于靶面的横向磁场分量，磁场由靶体内的磁铁产生。该横向磁场与垂直于靶面的电场构成正交的电磁场，成为一个平行于靶面的约束二次电子的电子捕集阱。其工作原理如图2.1所示：
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