1.1.3.1.1 真空蒸镀法真空蒸镀基本原理是在真空条件下，将镀料加热使其蒸发，大量的原子、分子气化从而离开母材的表面。气态的原子、分子在真空中运动，受到很少的阻碍而沉积到衬底表面。母材原子、分子沉积在衬底表面生长形成薄膜[31]。

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