钒酸银对镍基复合镀层室温高温摩擦学性能的影响(3)

1.2.2 常用的制备方法（1）干法制备。常用的制备方法有溅射，离子镀，离子注入等。溅射：将氩离子在电场下加速，从而获得足够的动能，然后使其轰击靶材，当氩离子的能量超过靶极原子的结合能（约为靶极材料的升华热）四倍时，原子被推出晶格位置，成为气相逸出晶体表面的过程叫做溅射。当用溅射技术沉积镀膜时，溅射源位于靶极，若靶材为单质，则在衬底上生产单质薄膜，若要生成化合物薄膜，则可以在溅射室有意识地引入反应气体，使之与靶材物质发生化学反应而沉积在衬底上。