微化学反应器的设计与制备方法研究(5)

现如今市场已经为光刻刻蚀技术省去了较昂贵的抛光、镀膜、匀胶等繁琐工序，制作并出售已加工好的匀胶铬板来简化光刻工艺，李海军等研究人员便使用这种玻璃来制备微反应器通道[16]。
（2）聚合物微反应器制作工艺
基于热塑性聚合物材料的软化点比硅、玻璃等无机材料低的多，因此也就使其制作方法种类繁多，例如模塑法、热压法、软光刻法、注塑法等[2]。制作芯片上的微结构主要由加工模具决定的，而阳模的制备主要由光刻法加工和机械加工制备。本论文中则主要采用机械加工模具和热压法制作微反应器。