偏振像差理论及其应用(2)
1、反射式旋转对称系统的偏振像差的实例分析[1]
2、透射式旋转对称系统的偏振像差的实例分析[8] 3、超大数值孔径光刻中掩模保护膜中的偏振像差及分析[9] 4、空间光学系统中偏振像差的模拟[2] 5、投影光学系统中的偏振像差分析[10] 国内多所研究所与高校提出了与偏振像差理论的实际应用相关的课题。南京理工大学在解决目标识别的问题中应用了偏振像差理论，对基于偏振成像的目标识别技术进行了研究[11]。西安交通大学成功研制了 Fourier变换型多光谱成像偏振仪[12]。安徽光机所设计并制作了国内首台无人机载偏振 CCD相机[13]。 最近,长春光机所的黄玮团队由于课题研究的需要,对偏振像差理论进行了一系列研究,并取得了重大成果。首先，该团队提出了一种在旋转对称光学系统中能够同时表征偏振像差在光瞳与视场上的分布规律的多项式——视场-方向泽尼克多项式（Field-orientation Zernike polynomials ，FOZP）。其次，该团队通过拓展多项式的方法，将该多项式从旋转对称项拓展至 M—阶对称项，以便应用于非旋转对称的光学系统中。为了验证视场-方向泽尼克多项式在非旋转对称光学系统中的正确性，该团队设计了 1.35NA的光刻物镜与 1.28NA的油浸式显微物镜，并进行了仿真分析。仿真结果表明，在非旋转对称光学系统中，视场-方向泽尼克多项式同样适用。使得我国在偏振像差理论方面的研究有了巨大的进展。 1.3 本论文主要工作 本文详细地介绍了偏振像差像差理论，用商用光学软件Zemax搭建了一个光刻物镜，并对此光刻物镜进行了偏振分析，找出了光刻物镜偏振像差的影响因素，提出了减小偏振像差的方法，具体工作如下： 1、对偏振像差做了概述，内容包括：偏振的定义，偏振像差的定义，偏振像差的来源。 2、介绍了两种用于描述光线偏振态的方式：Stokes矢量和Jones矢量，详细介绍了Jones算法。 3、介绍了偏振像差函数和偏振像差函数的计算方法——偏振光线追迹法。
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