真空镀膜技术文献综述和参考文献
真空镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景 特别是在制造大规模集成电路的电学膜：数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜：在能充分展示和应用各种光学特性的光学膜；在计算机显示用的感光膜；在TFT、PDP平面显示器上的导电膜和增透膜；在建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜；在包装领域用防护膜、阻隔膜；在装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜；在工、模具上应用的耐磨超硬膜：在纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等等都是真空镀膜技术及设备在广泛应j{j的基础上得到的不断发展的领域。22331
从中国的真空镀膜技术及设备的发展历史来看，是从20世纪60年代开始的，从无到有，从模仿设计、自行研制到技术引进，并在技术引进的基础上促进了自行研制和发展，特别是在20世纪80-,90年代我国的真空镀膜技术及设备都取得了长足的发展，在一些薄膜的应用领域里甚至得到了跨越式的进展。但随着中国进入WTO和世界经济全球化进程的加快，我国的真空镀膜技术及设备已经面临和正在面临着国外拥有先进的真空镀膜技术和设备的跨国公司的强有力的竞争和挑战，这种竞争和挑战迫使我们要同世界贸易组织的其它成员国一样，在同等条件下参与整个世界市场的竞争。但机遇也伴随竞争和挑战降临，主要的机遇在于中国入世后将逐步成为世界各经济国的加工基地，同时设备制造的国际性优质配件的采购也将更容易，采购成本也会降低，国产设备的品质会得到大幅度的提高。论文网
从目前真空镀膜设备的市场发展现状来看，国外许多实力雄厚的真空镀膜设备生产商已在中国成立了许多合资或独资的加工企业，并将一些新的真空镀膜工艺技术和产品移植到这些企业中来。因此我国真空镀膜设备在今后三～五年内的主要市场除了国内的企业外，外商投资企业也是设备需求新的增长点。
真空镀膜工艺技术的不断发展，也推动了真空镀膜设备的不断更新，真可谓是一代工艺、一代设备，而各类新的真空镀膜设备的出现，又为先进、复杂的工艺应用于工业化生产提供了可靠的保证。
真空卷绕镀膜技术发展已有多年,依赖于这门技术的真空卷绕镀膜设备在真空应用领域占有比较特殊的地位,它是真空镀膜应用设备中为数不多的能进行工业化大生产的机电一体化装置。
由于真空卷绕镀膜技术涉及真空获得、超低温深冷、普通致冷、高精度传动与控制以及高速连续镀膜等学科。加之其设备连续工作的特性所要求的设备高可靠性和高稳定性,使得使用此类技术的设备设计制造难度较高。
真空卷绕镀膜技术发展已日趋成熟,除了拓宽传统卷绕镀膜产品的应用领域外,目前其技术前沿是不断开发具有特殊功能性质的膜层和镀膜基材,并发展复合膜层。例如用于柔性显示屏的复合膜层及基材成膜工艺研究就很热门。这也就对真空卷绕镀膜设备的研制不断提出了新的课题。
在我国,目前利用真空卷绕镀膜技术的设备主要运用在装饰与包装镀膜行业里。国产设备在近年来取得了长足的进步。以镀铝机来说,其综合技术指标已相对不低(镀膜速度达420m/min,基材基材达φ1200×2200mm基材基材)。
其良好的镀膜效果也得到了市场认可。应用感应蒸发原理及磁控溅射原理的真空卷绕镀膜设备及电容器镀膜也有生产并有少量运用,但指标不高。而基于大功率电子束加热蒸发原理的真空卷绕镀膜设备却是空白。
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