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微机电系统(MEMS)国内外研究现状(2)

MEMS在国民生活以及国防科技中的应用十分广泛,因此提高国内MEMS的生产和应用能力势在必行。本课题正是基于这个想法,又考虑到倾角传感器的实用性强应用面广,便以此为题进行硬件分析,电路设计以及程序编写。

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