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洁净空间及洁净室英文文献和翻译(4)
空气模式控制
在洁净空间中的空气湍流被送风和回风配置,流量和工艺设备布局严重影响。良好的洁净室设计的第一步就是优化气流模式以配合业务的需求。用户要求的洁净度等级,工艺设备(即空气处理机组,洁净工作台,环境控制元件等),和项目的财务因素都可能影响最后的空气图案设计选择。
大量的气流模式配置是可能的,但它们分为两大类:非单向流(通常称为湍流),单向气流(通常被误称为层流)。
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