（1）水解反应：M(OR)n+xH2O→M(OH)x(OR)n-x+xROH

（2）聚合反应：-M-OH+HO-M-→-M-O-M-+H2O

-M-OR+HO-M-→-M-O-M-+ROH

溶胶-凝胶法的陈化过程使得其制得的溶液在形成凝胶时，反应物之间可以获得分子水平上的均匀性。由于制备过程中经过了溶液反应步骤，使得一些微量元素很容易均匀定量地掺进去，实现分子水平的均匀掺杂，所以溶胶凝胶法常常被用来制备掺杂纳米材料。溶胶-凝胶法产物颗粒均一，制备过程易受控制，适用于氧化物和Ⅱ-Ⅵ族化合物的制备。