matlab波长相移干涉仪测量平行平板的光学均匀性的研究仿真
关键词 透明平行平板 波长移相干涉仪 光学均匀性 傅里叶变换
毕业设计说明书（论文）外文摘要
Title measurement of homegeneity of transparent plates with wavelength-tuned phase-shifting interferometer_____
Abstract
Due to the good parallelism between the frontsuface and backsuface of transparent plate, A common problem in measuring transparent plates is spurious reflections, which resulted from backsuface reflections. Thus, it is difficult for us to clarify the regular pattern of this complicated fringe pattern. However, wavlength-tuned phase-shifting interferometry can efficiently defeat the unnecesary reflections.
After grasping technology of wavelength-tuned phase-shifting interfero-
-metry, a method of measuring the homegeneity of transparent plates with this technology has been designed, which than has been simulated in Matlab. After simulation, for getting the information related to surface and phase, process fringe patterns with Fourier transformation. At last, caculate the homegeneity.
Keywords transparent plate wavelength-tuned phase-shifting interfe- rometer homegeneity Fourier transformation
目 录
1. 绪论 1
1.1课题背景 1
1.1.1波长移相干涉仪的发展 1
1.1.2波长移相干涉技术的应用 2
1.2本论文的主要研究工作 3
2. 检测透明平行平板光学均匀性方法的研究 4
2.1 检测透明平行平板光学均匀性的非干涉方法 4
2.2 检测透明平行平板光学均匀性的干涉方法 7
3. 波长移相干涉技术的研究 10
3.1波长移相干涉的原理 10
3.2波长移相测量算法 14
4. 实验的设计与仿真 18
4.1实验的设计与分析 18
4.2实验的仿真 20
4.3仿真的结果分析 29
结 论 30
致 谢 31
参考文献 32
1.绪论
1.1课题背景
光学介质均匀性检测是光学零件检测中最重要、最基本的检测项目之一，它将直接影响光学零件的质量，并且它也是光学检测水平高低的重要标志，因而具有极其重要的意义。
在用干涉方法进行光学器件均匀性测量时，我们常常会需要测量透明平行平板。检测透明平行平板和检测一般的原件表面有所不同。因为透明平行平板的前后表面平行度好，因此在干涉测量时，平板的前后两个表面的反射光波都会参与成像，形成多个面反射光互相相干的情况，这样会使得我们观测到的干涉图像很难总结出规律，如图1.1。而这次毕业设计中提到的技术方法，即，波长移相干涉测量法，则可以有效地忽略透明平板后表面的伪反射。
图1.1 干扰复杂的干涉图像
1.1.1波长移相干涉仪的发展
在光学测量中，干涉图反映了被测光学系统的波像差或被测光学零件表面的面形误差以及光学均匀性，传统的干涉测量方法都是通过直接判读干涉条纹或者其序号来获取有用的信息。由于多种因素，特别是条纹判读准确度的限制，传统的干涉测量不确定度只能做到λ/10～λ/20（峰谷值偏差）【1】。
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