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matlab波长相移干涉仪测量平行平板的光学均匀性的研究仿真(3)
(5)总结研究工作,对每一步骤进行反思和思考。
2.平行平板光学均匀性测量方法的研究
在光学测量中,经常会遇到对平行平板的检测,由于平板前后表面的平行度良好,一束光透射平板,前后表面都会产生反射光,而这些反射光中的一部分会影响我们对平板面形,折射率均匀性等进行系统分析。因此,一般的测量方法是很难检测透明平行平板的。
2.1 测量平行平板的非干涉方法
传统测量透明平行平板的方法有很多,我这里列举下面这几种:
(1).对后表面进行涂层处理。
这是最简单最原始的方法,即在透明平行平板后表面上涂上吸光油脂或者涂料来消除平行平板后表面的光反射,从而消除它对被测面面形检测的影响,但是这样做很繁琐,很难想象每次测量都要认真地把后表面涂匀,而且,这些
化学
原料,很难保证后表面的面形不会因为它而腐蚀变形。因此这个方法虽然直接,但是操作繁琐,精度不高。
(2).平行光管法
平行光管法是一种定性检测方法。采用一对平行光管装置,一个作为准直光管,一个作为望远镜,用望远镜观察放入样品之后的分辨率板的临界分辨率组数(必须4个方向的黑白条带均能分辨开),及星点像的变化程度和分布状况,根据下式计算结果并取最大值确定均匀性等级:
a/a_0 = 2x/f * D/(120‘’) (2-1)
式中,D为物镜直径,a为样品分辨率,a_0是理论分辨率,f是平行光管焦距,x为条带宽度。
该方法检测材料光学均匀性,必须使用两块贴置玻璃,并且要求贴置玻璃的光学均匀性不大于1*〖10〗^(-6),两工作面的平行度不大于〖20〗^'‘,平面度不大于λ/4,局部平面度不大于λ/20,λ为波长。
(3).激光光路推导测量法:
假定平行平板玻璃位于折射率为n_1的介质中,平行平板玻璃厚度为t,折射率为n_2,如图2.1所示。当光线以入射角θ投射到平行平板玻璃上后,经平板两个面的折射,则入射光线与出射光线平行,但后者相对于前者平移了一段距离d。
图2.1 光线经平行平板玻璃的折射光路
由图2.1可以看出,在ΔABC和ΔACD中,
d=BC=ACsinβ (2-2)
而
AC=AD/cosα=t/cosα (2-3)
所以
d=t/cosα sin(θ-α) (2-4)
由折射定律n_1sinθ=n_2 sinα,对上式整理,得
d=tsinθ(1-cosθ/√(n^2-sin^2 θ)) (2-5)
其中n=n_2/n_1 为平行平板的相对折射率,n_1一般为空气折射率,n_2为平板的绝对折射率。由上式可以导出平行平板玻璃的相对折射率为
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