matlab波长相移干涉仪测量平行平板的光学均匀性的研究仿真(4)
n=√(((tsin2θ/2(tsinθ-d) )^2+sin^2 θ)) (2-6)
以上是以光线的概念推导的，实际测量中可以利用细光束进行测量，由激光器发出的细光束平行性好，故可以直接用来测量[7]。这种方法运用了几何光学的知识，并且没有考虑折射率均匀性，故有一定的误差。
（4）.激光-全反射测量法
取一块平板透明介质，例如玻璃，把一张经水浸湿的白纸贴到玻璃上，当He-Ne激光束从不贴纸的一面垂直入射到白纸上，便会在白纸上看到以入射光点为中心的“日晕”状光环。
产生此环的原因是：入射到白纸上的激光在白纸上发生漫反射，其中一部分光在没贴纸的玻璃面上形成全反射，再次照射到白纸上，便行成了以入射光点为圆心的“日晕”状光环。测量出此光环的直径D和玻璃的厚度d，就可由下式计算出玻璃的折射率。这种方法也是运用了几何光学的方法，人眼观测，环境干扰大，精度不高。
n=√(〖（4d/D）〗^2+1) (2-7)
（5）光谱共焦位移传感器测量厚度
White-light source Beam splitter Spectrometer Object
图2.2 光谱共焦位移传感器原理图
光谱共焦位移传感器原理如图2.2所示[8]，它由光源、透镜组、光谱仪等组成。光源发出的多色光通过探头中一系列的光镜组合，就会产生光谱色散，再经过一系列的光学反射后，便形成不同波长的单色光；然后在光轴的一定范围内聚焦，并且形成一个连续的焦点组，由传感器接收到每个焦点的反射信号，从而确定每个单色光波长对应的相应位置。还可以在高灵敏感光片上成像，通过单色仪读出单色波的波长，然后将其换算成为对应的距离值，通过控制箱中的光电组件识别并最终得到样品的轴向位置。采用高数值孔径的聚焦镜头可以使传感器达到较高的分辨率（轴向<10nm ，横向<5um[9]）。
正是基于这种独特的原理，使得光谱共焦位移传感器在位移测量上拥有高精度，不论是单层透明物体还是多层透明物体，除了能够测量该物体位移，还可以测量其厚度。如薄玻璃片，平行平板等。平行平板的前后表面都会反射特定波长的光，在单色仪上获得的是出现两个峰值的光谱曲线，通过这两个峰值可以推算出玻璃的厚度。这种方法的误差范围大约在0.005mm左右，误差还是略大。
综合以上分析，需要一种新的检测方法来实现材料光学均匀性的检测，在减小检测加工成本的基础上，提高检测精度，简化检测程序。
2.2 测量平行平板光学均匀性的干涉方法
上面一节中的方法的精度普遍偏低，原因是，这些方法都是基于几何光学，只利用了光的光强信息进行计算，而且很多测量都是通过人眼来标定。和上述方法相比较，干涉测量透明平行平板的精度要高很多。
干涉法测量透明平行平板光学均匀性的方法主要有直接测量法、样品翻转法、和绝对测量法【10-11】。其中直接测量法使用较多，下面列举两种方法进行比较：
（1）全息干涉法：
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