matlab波长相移干涉仪测量平行平板的光学均匀性的研究仿真(6)

从上式可以看出，采用绝对测量法，最终结果中不包含任何表面的面形信息，降低了对干涉仪及样品面形的精度要求，其测量的结果仅与干涉仪的测量分辨率和重复性精度有关，对于测量重复性精度达到λ/20的干涉仪来说，30mm厚度的样品光学均匀性测量精度可达到〖10〗^(-7)量级。
在理论上，测量出4个干涉腔长形成的干涉波面分布，就可以计算出材料的光学均匀性，但在实际测量中，如果没有进行仔细的测量规划，可能会形成多个面同时发生干涉的现象，无法采集干涉图样并获得干涉波面分布，使得测量无法进行。