基于Al/Ni纳米复合薄膜的微型热电池技术研究(2)
(4)以Al/Ni纳米复合薄膜基热电池可行性分析。
2 Al/Ni纳米复合薄膜的制备
2.1 实验设备及材料
①镀膜机。实验使用的是沈阳科友真空技术研究所生产的真空磁控溅射镀膜装置，如图1所示。镀膜机抽真空系统采用复合分子泵—机械泵系统，极限真空可达1×10-5Pa；利用PH-LW52-BHP型激光冷水机提供冷却系统用水，水温设置20°C，金属靶均采用直流功率源，靶与基底之间的距离为10cm。
②靶材。本实验使用的靶材选用江西科特公司生产的Al靶、Ni靶，规格为Φ76 mm × 4mm圆形薄片，其中Ni靶掺杂7%的V，为的是尽量减弱Ni靶的磁性，增加镀膜成功的可靠性，Al靶纯度为99.99%。