图2.1Grid示意图

2.2 ROI选择

ROI是我们在ReferenceImage上根据观察需要所选择的区域。若Mask是刻蚀出图案的光刻胶，那么ROI便是掩膜板上的图案，通过图像处理软件选择ROI，再对其进行处理获得图2.2下半部分所示Mask（ROI必须是连续的，原因参见2.4部分“格点遍历”）。值得注意的是，选择ROI时，须将宏观裂纹、断口挖去，从而保证这些缺陷周围的大变形区域应变计算准确，图2.2为ROI选取示意图。